1. 設(shè)備用途：硅烷沉積/碳包覆；

   2. 爐內(nèi)氣氛：氮氣、乙炔、硅烷等。

   3. 物料特性：松散粉體材料，無強酸強堿等腐蝕性成份；

4. 設(shè)備設(shè)計產(chǎn)能：爐管總體積：450L，批次裝填體積≤100L

二.設(shè)備安裝運行條件

  1.廠房或室內(nèi)。

  2.控制區(qū)環(huán)境溫度0~40℃。

  3.地面平整,無腐蝕性氣體。

  4、車間通風(fēng)良好。

四.電力配置

  1.~380/220V±10%，50Hz；

  2.供電能力:≥85kw；  

  3.保護(hù)氣體（氬氣）供應(yīng)：≥10m³/h。

四、設(shè)備技術(shù)參數(shù)

1．設(shè)備型號：JKR-QXGZ-63150

2.設(shè)備用途：硅沉積/碳包覆；

  3. 物料特性：松散粉體材料，無強酸強堿等腐蝕性成份；

  4.爐內(nèi)恒溫時間：根據(jù)客戶工藝進(jìn)行設(shè)定；

  5.填充率：筒體總?cè)莘e420L,建議批次處理≤100L

  6.回轉(zhuǎn)筒體尺寸：Ф630mm×1500mm（實際裝填物料工作區(qū)尺寸）；

   7.設(shè)備占地面積：3500mm×3000mm×2200mm，(按照實際尺寸為準(zhǔn))

8.使用溫度：  ≤850℃。

9.加熱方式： 內(nèi)嵌電阻絲模塊圓周外加熱；

10.電阻絲：高溫電爐絲

11.裝機功率：80kw；

12.溫控系統(tǒng)：JKR控制儀表（支持所有溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出PC）

    13.溫控表精度：0.3

    14.功率調(diào)整器：JKR

15.控溫穩(wěn)定度：±2℃，

    16.溫區(qū)個數(shù)：1個

17.控溫點數(shù)：1點

    18.報警保護(hù)：超溫、斷偶、聲光報警保護(hù)（指示燈指示）

    19.設(shè)備表面溫升：＜50℃

23.電 源：三相，380VAC，50Hz 

24.筒體材料：  310s 不銹鋼；

25.耐火材料： 硅酸鋁纖維模塊及毯；

    26.筒體轉(zhuǎn)速： 0.3～1.5轉(zhuǎn)/分（伺服控制）;

27.爐體傾角： 0～14 度（可調(diào)）；

設(shè)備型號簡介