1. 設備用途：硅烷沉積/碳包覆；

2. 爐內(nèi)氣氛：氮氣、乙炔、硅烷等。

3. 物料特性：松散粉體材料，無強酸強堿等腐蝕性成份；

4. 設備設計產(chǎn)能：爐管總體積：450L，批次裝填體積≤100L

二.設備安裝運行條件

1.廠房或室內(nèi)。

2.控制區(qū)環(huán)境溫度0~40℃。

3.地面平整,無腐蝕性氣體。

4、車間通風良好。

四.電力配置

1.~380/220V±10%，50Hz；

2.供電能力:≥85kw；  

3.保護氣體（氬氣）供應：≥10m³/h。

四、設備技術參數(shù)

1．設備型號：JKR-QXGZ-63150

2.設備用途：硅沉積/碳包覆；

3. 物料特性：松散粉體材料，無強酸強堿等腐蝕性成份；

4.爐內(nèi)恒溫時間：根據(jù)客戶工藝進行設定；

5.填充率：筒體總容積420L,建議批次處理≤100L

6.回轉筒體尺寸：Ф630mm×1500mm（實際裝填物料工作區(qū)尺寸）；

7.設備占地面積：3500mm×3000mm×2200mm，(按照實際尺寸為準)

8.使用溫度：  ≤850℃。

9.加熱方式： 內(nèi)嵌電阻絲模塊圓周外加熱；

10.電阻絲：高溫電爐絲

11.裝機功率：80kw；

12.溫控系統(tǒng)：JKR控制儀表（支持所有溫度數(shù)據(jù)采集并導出PC）

13.溫控表精度：0.3

14.功率調(diào)整器：JKR

15.控溫穩(wěn)定度：±2℃，

16.溫區(qū)個數(shù)：1個

17.控溫點數(shù)：1點

18.報警保護：超溫、斷偶、聲光報警保護（指示燈指示）

19.設備表面溫升：＜50℃

23.電 源：三相，380VAC，50Hz 

24.筒體材料：  310s 不銹鋼；

25.耐火材料： 硅酸鋁纖維模塊及毯；

26.筒體轉速： 0.3～1.5轉/分（伺服控制）;

27.爐體傾角： 0～14 度（可調(diào)）；

設備型號簡介